SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測(cè)儀

SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測(cè)儀為工程師提供了準(zhǔn)確性、可靠性和靈活性的過程監(jiān)控，可以提高效率、保證晶圓制造的一致性，以滿足更高的良率和容錯(cuò)的要求。在競(jìng)爭(zhēng)激烈的微電子工業(yè)中，如果不使用復(fù)雜的監(jiān)測(cè)和控制來(lái)確保晶圓制造的一致性，晶圓的制造成本將大大提高。

我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測(cè)儀允許定量化學(xué)濃度。全在線化學(xué)監(jiān)測(cè)能夠?qū)崟r(shí)校正溶液成分，從而穩(wěn)定控制工藝條件、保持產(chǎn)品的一致性。

監(jiān)控工藝過程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量。可能影響產(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測(cè)時(shí)會(huì)立即顯現(xiàn)出來(lái)，并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。

產(chǎn)品選項(xiàng)  

• 多個(gè)樣本點(diǎn)

• 額外的5 mL數(shù)字滴定管

• 附加傳感器

• 安全聯(lián)鎖裝置

• 試劑低液位檢測(cè)

優(yōu)勢(shì)  

• 增加工具產(chǎn)量

• 降低化學(xué)品成本

• 實(shí)時(shí)過程監(jiān)控

• 降低批量損失

• 降低所有者成本

應(yīng)用    

• 銅化學(xué)機(jī)械拋光

• 鎢化學(xué)機(jī)械拋光

• 濕法蝕刻

• 清潔

• DSP+

• 氮化物蝕刻

• PAN蝕刻  

• 食人魚蝕刻

• HF

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 4個(gè)4-20 mA 模擬輸出

• 8個(gè)可編程繼電器

• 以太網(wǎng)和 RS232 串口

• 彩色觸摸屏

• 集成試劑儲(chǔ)存

• 單采樣點(diǎn)

• 1個(gè)5mL數(shù)顯滴定管

• 多個(gè)傳感器輸入

規(guī)格

¹僅指“硬件"。應(yīng)用、化學(xué)和工藝條件等外部因素會(huì)影響系統(tǒng)準(zhǔn)確度和精密度。

²這不包括 pH 傳感器的校準(zhǔn)。有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)參閱安裝和操作手冊(cè)。Entegris 相信此處包含的數(shù)據(jù)是真實(shí)的，所表達(dá)的意見是合格專家對(duì)所進(jìn)行測(cè)試的結(jié)果的看法，這些數(shù)據(jù)不應(yīng)被視為 Entegris  承擔(dān)法律責(zé)任的保證或陳述。提供的數(shù)據(jù)僅供考慮、調(diào)查和驗(yàn)證。對(duì)這些數(shù)據(jù)和信息的任何使用都必須由用戶決定，以符合聯(lián)邦、州和當(dāng)?shù)氐姆煞ㄒ?guī)。所有規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

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